Microscopio industriale trinoculare per ispezione wafer BS-4020A
Introduzione
Il microscopio per ispezione industriale BS-4020A è stato appositamente progettato per l'ispezione di wafer di varie dimensioni e PCB di grandi dimensioni. Questo microscopio può fornire un'esperienza di osservazione affidabile, comoda e precisa. Con una struttura perfettamente eseguita, un sistema ottico ad alta definizione e un sistema operativo ergonomico, BS-4020 realizza analisi professionali e soddisfa varie esigenze di ricerca e ispezione di wafer, FPD, pacchetti di circuiti, PCB, scienza dei materiali, fusione di precisione, metalloceramica, stampi di precisione, semiconduttori ed elettronica ecc.
1. Sistema di illuminazione microscopico perfetto.
Il microscopio è dotato di illuminazione Kohler, fornisce un'illuminazione brillante e uniforme in tutto il campo visivo. Coordinato con il sistema ottico infinito NIS45, obiettivo NA elevato e LWD, è possibile fornire immagini microscopiche perfette.
Caratteristiche
Campo luminoso di illuminazione riflessa
BS-4020A adotta un eccellente sistema ottico infinito. Il campo visivo è uniforme, luminoso e con un elevato grado di riproduzione dei colori. È adatto per osservare campioni di semiconduttori opachi.
Campo oscuro
Può realizzare immagini ad alta definizione durante l'osservazione in campo oscuro e svolgere ispezioni ad alta sensibilità su difetti come graffi sottili. È adatto per l'ispezione superficiale di campioni con esigenze elevate.
Campo chiaro dell'illuminazione trasmessa
Per campioni trasparenti, come FPD ed elementi ottici, l'osservazione in campo chiaro può essere realizzata mediante un condensatore di luce trasmessa. Può essere utilizzato anche con DIC, polarizzazione semplice e altri accessori.
Polarizzazione semplice
Questo metodo di osservazione è adatto per campioni di birifrangenza come tessuti metallurgici, minerali, LCD e materiali semiconduttori.
Illuminazione riflessa DIC
Questo metodo viene utilizzato per osservare piccole differenze negli stampi di precisione. La tecnica di osservazione può mostrare sotto forma di rilievi e immagini tridimensionali la piccola differenza di altezza che non può essere vista con l'osservazione ordinaria.
2. Obiettivi per campo chiaro e campo scuro Semi-APO e APO di alta qualità.
Adottando la tecnologia di rivestimento multistrato, gli obiettivi Semi-APO e APO della serie NIS45 possono compensare l'aberrazione sferica e l'aberrazione cromatica dall'ultravioletto al vicino infrarosso. La nitidezza, la risoluzione e la resa cromatica delle immagini possono essere garantite. È possibile ottenere l'immagine ad alta risoluzione e piatta per vari ingrandimenti.
3. Il pannello operativo si trova nella parte anteriore del microscopio, comodo da usare.
Il pannello di controllo del meccanismo è situato nella parte anteriore del microscopio (vicino all'operatore), il che rende l'operazione più rapida e comoda durante l'osservazione del campione. Inoltre, può ridurre l'affaticamento causato dall'osservazione prolungata e dalla polvere fluttuante portata da un'ampia gamma di movimenti.
4. Testa di visione trinoculare inclinabile Ergo.
La testa di visione inclinabile Ergo può rendere l'osservazione più confortevole, in modo da ridurre al minimo la tensione muscolare e il disagio causati dalle lunghe ore di lavoro.
5. Meccanismo di messa a fuoco e maniglia di regolazione fine del tavolino con posizione della mano bassa.
Il meccanismo di messa a fuoco e la maniglia di regolazione fine del tavolino adottano il design con posizione bassa della mano, conforme al design ergonomico. Gli utenti non hanno bisogno di alzare le mani durante il funzionamento, il che offre il massimo grado di sensazione di comfort.
6. Il palco ha una maniglia di presa incorporata.
La maniglia di innesto può realizzare la modalità di movimento veloce e lento del palco e può individuare rapidamente campioni di grandi dimensioni. Non sarà più difficile individuare i campioni in modo rapido e preciso quando si utilizza la maniglia di regolazione fine del tavolino.
7. Il palco sovradimensionato (14"x 12") può essere utilizzato per wafer e PCB di grandi dimensioni.
Le aree dei campioni di microelettronica e semiconduttori, in particolare i wafer, tendono ad essere grandi, quindi il normale tavolino del microscopio metallografico non può soddisfare le loro esigenze di osservazione. BS-4020A ha un palco sovradimensionato con un ampio raggio di movimento ed è comodo e facile da spostare. Quindi è uno strumento ideale per l'osservazione al microscopio di campioni industriali di grandi dimensioni.
8. Il supporto per wafer da 12 pollici viene fornito con il microscopio.
Con questo microscopio è possibile osservare wafer da 12 pollici e wafer di dimensioni più piccole, con la maniglia della fase di movimento veloce e fine, può migliorare notevolmente l'efficienza lavorativa.
9. La copertura protettiva antistatica può ridurre la polvere.
I campioni industriali dovrebbero essere lontani dalla polvere fluttuante e un po' di polvere può influenzare la qualità del prodotto e i risultati dei test. BS-4020A ha un'ampia area di copertura protettiva antistatica, che può impedire la polvere fluttuante e la caduta di polvere in modo da proteggere i campioni e rendere il risultato del test più accurato.
10. Distanza di lavoro più lunga e obiettivo NA elevato.
I componenti elettronici e i semiconduttori sui campioni del circuito stampato presentano una differenza di altezza. Pertanto, su questo microscopio sono stati adottati obiettivi a lunga distanza di lavoro. Nel frattempo, al fine di soddisfare gli elevati requisiti dei campioni industriali in termini di riproduzione del colore, la tecnologia di rivestimento multistrato è stata sviluppata e migliorata nel corso degli anni e vengono adottati obiettivi BF&DF semi-APO e APO con elevato NA, che possono ripristinare il colore reale dei campioni. .
11. Vari metodi di osservazione possono soddisfare diversi requisiti di test.
| Illuminazione | Campo luminoso | Campo oscuro | DIC | Luce fluorescente | Luce polarizzata |
| Illuminazione riflessa | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| Illuminazione trasmessa | ○ | - | - | - | ○ |
Applicazione
Il microscopio per ispezione industriale BS-4020A è uno strumento ideale per l'ispezione di wafer di varie dimensioni e PCB di grandi dimensioni. Questo microscopio può essere utilizzato in università, fabbriche di elettronica e chip per la ricerca e l'ispezione di wafer, FPD, pacchetti di circuiti, PCB, scienza dei materiali, fusione di precisione, metalloceramica, stampi di precisione, semiconduttori ed elettronica, ecc.
Specifica
| Articolo | Specifica | BS-4020A | BS-4020B | |
| Sistema ottico | Sistema ottico con correzione del colore infinito NIS45 (lunghezza del tubo: 200 mm) | ● | ● | |
| Testa di osservazione | Testa trinoculare inclinabile Ergo, inclinata regolabile 0-35°, distanza interpupillare 47mm-78mm; rapporto di divisione Oculare: Trinoculare=100:0 o 20:80 o 0:100 | ● | ● | |
| Testa trinoculare Seidentopf, inclinata di 30°, distanza interpupillare: 47mm-78mm; rapporto di divisione Oculare: Trinoculare=100:0 o 20:80 o 0:100 | ○ | ○ | ||
| Testa binoculare Seidentopf, inclinata a 30°, distanza interpupillare: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| Oculare | Oculare con piano di campo super ampio SW10X/25mm, diottrie regolabili | ● | ● | |
| Oculare con piano di campo super ampio SW10X/22mm, diottrie regolabili | ○ | ○ | ||
| Oculare con piano di campo extra ampio EW12,5X/17,5 mm, diottrica regolabile | ○ | ○ | ||
| Oculare con piano di campo ampio WF15X/16mm, regolabile diottrie | ○ | ○ | ||
| Oculare con piano di campo ampio WF20X/12mm, regolabile diottrie | ○ | ○ | ||
| Obiettivo | NIS45 Obiettivo semi-APO del piano LWD infinito (BF e DF), M26 | 5X/NA=0,15, WD=20 mm | ● | ● |
| 10X/NA=0,3, WD=11 mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0,45, WD=3,0 mm | ● | ● | ||
| NIS45 Obiettivo APO del piano LWD infinito (BF e DF), M26 | 50X/NA=0,8, WD=1,0 mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0,9, WD=1,0 mm | ● | ● | ||
| NIS60 Piano LWD infinito Obiettivo semi-APO (BF), M25 | 5X/NA=0,15, WD=20 mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0,3, WD=11 mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0,45, WD=3,0 mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 Piano LWD infinito Obiettivo APO (BF), M25 | 50X/NA=0,8, WD=1,0 mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0,9, WD=1,0 mm | ○ | ○ | ||
| Nasello | Revolver sestuplo indietro (con slot DIC) | ● | ● | |
| Condensatore | Condensatore LWD NA0,65 | ○ | ● | |
| Illuminazione trasmessa | Alimentatore LED da 40W con guida luminosa in fibra ottica, intensità regolabile | ○ | ● | |
| Illuminazione riflessa | Lampada alogena a luce riflessa 24V/100W, illuminazione Koehler, con torretta a 6 posizioni | ● | ● | |
| Alloggiamento lampada alogena da 100W | ● | ● | ||
| Luce riflessa con lampada LED 5W, illuminazione Koehler, con torretta a 6 posizioni | ○ | ○ | ||
| Modulo campo chiaro BF1 | ● | ● | ||
| Modulo campo chiaro BF2 | ● | ● | ||
| Modulo in campo oscuro DF | ● | ● | ||
| Filtro ND6, ND25 integrato e filtro di correzione del colore | ○ | ○ | ||
| Funzione ECO | Funzione ECO con pulsante ECO | ● | ● | |
| Messa a fuoco | Messa a fuoco grossolana e fine coassiale in posizione bassa, divisione fine 1μm, campo di movimento 35mm | ● | ● | |
| Palcoscenico | Tavolino meccanico a 3 strati con maniglia ad innesto, dimensioni 14”x12” (356mmx305mm); campo di movimento 356mmX305mm; Area illuminabile per luce trasmessa: 356x284mm. | ● | ● | |
| Porta wafer: può essere utilizzato per contenere wafer da 12 pollici | ● | ● | ||
| Kit DIC | Kit DIC per illuminazione riflessa (utilizzabile per obiettivi 10X, 20X, 50X, 100X) | ○ | ○ | |
| Kit polarizzatore | Polarizzatore per illuminazione riflessa | ○ | ○ | |
| Analizzatore per illuminazione riflessa, ruotabile 0-360° | ○ | ○ | ||
| Polarizzatore per illuminazione trasmessa | ○ | ○ | ||
| Analizzatore per illuminazione trasmessa | ○ | ○ | ||
| Altri accessori | Adattatore con attacco C 0,5X | ○ | ○ | |
| 1 adattatore con attacco C | ○ | ○ | ||
| Copertura antipolvere | ● | ● | ||
| Cavo di alimentazione | ● | ● | ||
| Vetrino di calibrazione 0,01 mm | ○ | ○ | ||
| Pressore per campioni | ○ | ○ | ||
Nota: ● Attrezzatura standard, ○ Opzionale
Immagine di esempio
Dimensione
Unità: mm
Diagramma del sistema
Certificato
Logistica
